Общее описание
Геттерные насосы – насосы использующие физическую адсорбцию газов для их
удаления из вакуумного объема.
Большим достоинством геттерных насосов является отсутствие масла в
конструкции, что позволяет получить с их помощью “безмасляный” вакуум. Обычно
геттерные насосы используют как насосы предварительного разряжения

В ряде случаев геттерные насосы используют как самостоятельное средство
откачки для получения безмасляного среднего и высокого вакуума.

Конструкция геттерного насоса включает в себя подогревательный узел,
обеспечивающий необходимые температурные режимы обработки и активный элемент,
сорбирующий газы.

В качестве активного элемента, определяющего сорбционные и вакуумные
свойства применяются те же материалы, что и в нераспыляемых газопоглотителях.

Технические характеристики
Ёмкость поглощения по водороду (по окиси углерода) – основная характеристика
активности насоса, показывающая количество газа, безвозвратно поглощенное насосом
(измеряется при комнатной температуре после предварительного активирования)

Электрические параметры подогревателя, определяющие температурные режимы
активирования и обезгаживания геттерного насоса.

Минимальное количество возможных циклов реактивирования, при котором
ёмкость поглощения насоса ухудшается до значений не хуже чем 10% от номинала

Подробнее:

геттерные насосы